第10章 系统升级成了小不点！

“首先是设计光学系统，根据曝光需求，设计光刻机的照明系统结构参数……”

许一秋拿起粉笔，在黑板上快速地写下了一段参数。

数值孔径(NA):0.1-0.2

σ值:0.3-0.8

照明非均匀度: